國立虎尾科技大學微奈米磨潤應用實驗室 NFU Micro/Nano Tribology Laboratory所使用之主要實驗儀器與器材。
光學顯微鏡(OM)(Optical Microscope)
原子力顯微鏡(AFM)(Atomic Force Microscope)
離子濺鍍機(Sputter)(Ion Sputter)
微奈米測試儀(Nano/ Microindentor Test)
接觸角量測儀(FTA)(Contact Angle)
光學式膜厚儀(Optical film thickness)
表面粗度儀(Surface Roughness Tester)
表面力分析儀(SFA)(Surface Force Apparatus)
微接觸磨潤試驗台(Micro-contact Tester)
側向力磨耗試驗機(Ring-on-Ring tester)
並聯磨損試驗儀器(Ring-on-block tester)
物理濺鍍機(Sputter)(Physical Vapor Deposition)
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機台名稱
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訓練費用
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委託操作費用
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備註
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表面粗度儀
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500元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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原子力顯微鏡系統(AFM)
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500元/人
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1000/hr 提供矽探針（球頭半徑25nm） 特殊探針需自備
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自行操作 700/hr
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刮痕試驗機
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500元/人
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1000/hr
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自行操作 700/hr
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摩擦或磨耗試驗機(線接觸)
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500元/人
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1000/hr
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自行操作 700/hr
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摩擦或磨耗試驗機(點接觸)
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500元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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電位差自動滴定儀
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500元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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庫倫法卡式水份儀
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500元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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接觸角量測儀
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500元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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濺鍍機
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500元/人
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1000/hr
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自行操作 700/hr
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表面微性能量測模組
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500元/人
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1000/hr
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自行操作 700/hr
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粒徑分析儀
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500元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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紅外線溫度量測儀
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500元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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潤滑油鐵粉濃度計
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200元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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潤滑脂鐵粉濃度計
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200元/人
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500/hr
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自行操作 300/hr
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